製品情報

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  • ポーラスチャック
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  • 実績の紹介

ポーラスチャック

ポーラスチャック ポーラスチャック(吸着テーブル)とは半導体製造工程で使用されるダイシングソーや検査装置に組み込まれている部品です。テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することによって薄いシリコンウェハー等を平面保持することが出来る製品です。ダイシングソーでは20μm程度の幅でシリコンウェハーを切断していくため、ウェハー吸着面には高い平面平行度が求められます。

ポーラスチャックの実績は「実績の紹介」よりご覧いただけます

ポーラスチャックの種類

当社のポーラスチャックでは標準的に吸着面の平面度を5μm以下の精度で仕上げています。吸着面の大きさや台座の形状にもよりますが吸着面の平面度を3μm以下の精度で仕上げることも可能です。 ポーラスチャックは半導体製造装置だけでなく、薄いものを平面に吸着させるという特徴を活かして各種測定装置、検査装置にも使われています。

ポーラスチャック.com 詳しくはポーラスチャックオフィシャルサイトをご覧ください。

当社ではポーラスチャックに限らずポーラスを使った応用製品についてのご相談も承っております。

  • 丸型ポーラスチャック

    丸型ポーラスチャック

    シリコンウェハーの吸着に最適な製品。各種サイズに対応可能。

  • 角型ポーラスチャック

    角型ポーラスチャック

    フィルム・紙の吸着に最適な製品。加工や検査用として多く採用されてます。

  • 突上げステージ

    突上げステージ

    フィルム・紙の吸着に最適な製品。加工や検査用として多く採用されてます。

  • 自吸型ポーラスチャック

    自吸型ポーラスチャック

    電池が内蔵されているため、ハンドリング性に優れた製品です。

  • 面発光ポーラスチャック

    面発光ポーラスチャック

    検査用として最適な製品。バックライト機能としてご使用していただけます。

  • ヒーターユニット

    ヒーターユニット

    熱実験に最適な製品。最大で250℃まで加熱し、固定が可能です。

環境、条件、用途に応じた仕様

  • 形状
    • 丸型
    • 角型
    • 円筒型
    • 特殊型(各種形状に対応可能)
  • ボディ素材
    • ステンレス
    • チタン合金
    • アルミニウム
    • セラミックス
  • ポーラス素材
    • セラミックス
    • ステンレス
    • カーボン
    • PTFE
  • サイズ
    • 丸型 (φ5mm~φ500mm)
    • 角型 (□5mm~□350mm)
  • ボディ表面処理
    • フッ素樹脂加工
    • アルマイト
    • 防錆黒色皮膜LD処理
    • 無電解ニッケルメッキ
  • ポーラス素材
    • 3μm~580μ
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